山东飞源科技有限公司拟投资1350万元建设300吨/年NF3扩建项目，项目建设地点位于山东高青清河工业园淄博飞源化工有限公司西厂区内。
该项目为山东飞源科技投资15000万元建设的“4300吨/年电子产品用高纯新材料项目”的子项目。由于在建项目500吨/年NF3装置纯化、净化、精馏、罐装等工序及公用配套设施已预留扩产能力，因此本次仅投资扩建300吨/年NF3项目，主要建设内容包括：300吨/年NF3电解工序，新增4组电解系统（每组20台电解槽）及配套的配料槽、氟化氢冷凝器、收集罐、三氟化氮冷却器、负压罐等设施。
日前，山东省高青县环保局对该项目进行环评第二次公示。