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浙化院获批成立含氟电子气体标准制定工作组

2018-01-19

1月9日,全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会正式批复,成立全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会含氟电子气体标准制定工作组(以下简称“含氟电子气体标准制定工作组”),浙化院成为该工作组秘书处承担单位。

含氟电子气体标准制定工作组拟负责含氟电子气体领域的标准制修订工作,由全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会负责日常管理和业务指导。第一届全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会含氟电子气体标准制定工作组拟由9名委员组成,张建君任组长,廖恒易任副组长,史婉君任秘书长。

作为秘书处承担单位,浙化院将按照组建方案及《全国专业标准化技术委员会管理规定》积极开展相关标准化活动,加快推进含氟电子气体相关标准的制修订工作,健全我国半导体设备和材料标准化体系,从而促进我国含氟电子气体行业的良性发展。